一、背景：蔡司原子力显微镜（AFM）现已广泛应用于半导体、纳米功能材料、化工、生物研究和科研院所各种纳米相关学科的研究实验等领域中，成为纳米科学研究的基本工具；主要在真空、空气或液体环境下对各种材料和样品进行纳米区域的物理性质包括形貌进行探测，提供真正高分辨率的三维表面图，为了保证高效快速检测的成像效果，需对周边振动源进行消除减震。
可满足其原子力显微镜实际应用于：
二、使用单位：某知名高校
三、设备型号：蔡司原子力显微镜(AFM）
四、减震|隔振方案：Table Stable TS-150
五、可应用领域：
➯原子力显微镜 AFM
➯扫描探针显微镜 SPM
➯桌上型扫描隧道显微镜 STM
➯干涉仪、粗糙度仪、轮廓仪
➯超分辨率显微镜
➯其他超精密设备
六、Table stable TS-150 主动减震系统 主要优势：
◆主动隔振性能优异：0.7Hz开始主动隔振，10Hz以上迅速增加到40dB
◆三轴六个空间自由度全方位主动隔振
◆超低频消振，无任何低频共振，优于被动气浮、阻尼系统
◆系统固有刚度具有出色的方向和位置稳定性
◆采用高灵敏度压电传感器技术，主动检测并动态消除
◆可实时显示振动水平、重量分布
◆即插即用系统集成整合，无需空气
◆长期稳定性，可多年无故障使用
◆安装操作轻松简便： 打开电源开关按钮 → 自动执行负载补偿(自动调平） → 开启隔震/隔振功能
◆精密自动高度调整机制：即使负载发生重大变化，也能快速稳定到最佳工作水平
◆全过程自动功能实现：无需任何的手动调节，轻松，方便，简洁
七、Table Stable TS-150 主动减震系统 技术指标：
型号（Model) | TS-150/LP |
尺寸（Size） | 400 (W) x 450 (D) mm |
高度（Height） | 78.5 (H) mm |
系统重量（Weight） | 17.5 kg |
负载能力（Load capacity） | 0~150 kg |
隔离技术 （Isolation technology） | 高灵敏度压电传感器与快速低功耗致动器 |
校正方向 （Correction directions） | 三轴六自由度全方位隔振； 针对所有六种平移和旋转振动模式的主动隔振。 |
隔离范围（Isolation） | 频率: 0.7 ～ 300 Hz主动隔振，300 Hz以上为被动隔振 |
传递率（Transmissibility） | 在~10Hz以上传递率＜0.01（-40dB） |
矫正力（Correction Forces） | 垂直方向±8N，水平方向±4N |
系统噪音（System Noise） | 在任何方向的0.1-200 Hz范围内小于20ng/√Hz |
输入电压（Input Voltage） | 100 ～ 120 ＶAC, 200 ～ 240 VAC, 47-63 Hz |
功耗（Power Consumption） | 隔振期间最高10 W；负载调整期间最大20 W。 |
安全等级(Safety class) | 1 |
防护等级(Protection class) | IP 20 |
温度范围(Temperature range) | 5 ℃ ～ 40 ℃ /41°-104°F |
相对湿度 （Relative humidity） | 10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃/ 41°-86°F） 10 ～ 60 %（30 ～ 40℃ / 86°-104°F） |
使用场所（Application） | 仅用于室内 |
工作高度（Altitude） | 高达2,000 m（6500ft） |
*选项一：面板（Table Top） | 面板通常为阻尼铝板结构，可定制不锈钢或铁磁钢；也可定制安装板带螺孔M6，间距25mm，可在工作台上安装各种设备。
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*选项二： 遥控箱（Remote control box） | 远程遥控控制，可以连接到D-Sub插座可在设备外部实现打开和关闭隔振开关。 |
*选项三： 调制盒(Modulation Input box) | 允许将激励信号应用于TS系列，以便该系统可以用作任何方向的振动激励器。 |
八、Table Stable主动- TS-150 减震-隔振性能效果：
性能对比图：当使用TS系列主动隔振系统搭载高倍分辨率精密仪器时（如电子显微镜等），在主动隔振系统功能启动前后所得图像，表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。 
（图2：Table Stable 桌上型-隔振台 TS-150 (减震-隔振效果曲线图））
