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产品中心

多年来我们服务了众多客户为他们提供了专业的实验室防振、消磁、隔音的解决方案, 极大提高他们的工作效率,科研效率,助力他们取得所需的结果。

ARISMD PRO主动隔振系统/主动减震系统/主动防震系统

主动减震台 - ToOne

  • ARISMD PRO主动隔振系统/主动减震系统/主动防震系统紧凑型模块化主动隔振系统,能够抵消影响超高精密设备或工具的振动,多个独立的隔振器可承受高达4000Kg的大型设备负载,安装简易,无需抬高及重新校准。

产品特点
  • 6自由度隔振
  • 0.5Hz开始隔振有效增益
  • 可变阻尼
  • 内置人工智能功能
  • 主动隔振频率范围可调整
  • 远程控制
  • 内置实时诊断工具(频谱分析仪、示波器)
  • 震动模式(可选)
应用范围
  • 电子显微镜(SEM、TEM、FIB、EBL、DualBeam)
  • 半导体测试设备(光刻机、晶圆测试仪、电子束曝光机、CD_SEM)
  • 扫描隧道显微镜/STM、扫描探针显微镜SPM、大型原子力显微镜/AFM
  • X-Ray、CT、MPI

常见问题答疑

我们将与您一起制定个性化电镜实验室解决方案,包括电镜设备、实验室隔振、实验室消磁、光学平台等。我们可以根据您提出的需求, 了解您需要的产品,提供专业的电镜实验室解决方案。

当然需要。 一般电镜供应商会在设备安装环境要求中提出使用者的安装环境要求——包括对震动、磁屏蔽、温度、湿度等几个重要的环境因素。其中震动要求会提出高频、低频震动的具体控制范围。否则不能保证达到验收要求。

主动隔振是感应器感受到振动压力信号,然后转换成电信号,传输给作动器,作动器输出相反方向的力,以抵消振动。主动隔振可以减少低频和高频振动,特别是对于低频段的隔振效果远好于被动隔振; 被动隔振是利用弹性物质例如弹簧、充气平台、橡胶等物体的物理性质去减少振动,能降低20Hz以上的高频振动,对低频振动的效果不大

随着精密试验的标准越来越高,实验结果受到环境的影响会很大,尤其是外界震动对实验结果的准确性有极大影响,而电镜减震台则是一种很好的减震设备,它通过吸收一定频率范围的震荡波或者通过波峰与波谷的叠加来减少震动频率来实现减震

如果扫描电子显微镜安装在有强杂散磁场的环境中,电子束将被该磁场强制抖动,引起成像时异常的放大、收缩、扭曲、飘移或针状噪声。 因此,在扫描电镜设计中,为避免电源的干扰,捕捉图像的扫描模式与电源频率同步,尽可能减小了同步磁场产生的干扰

对于扫描电镜来说,外界震动会造成在电子束下落过程中,样品相对电子束发生位移,从而使得电子束轰击位置出现错位,扫描电镜图像上会出现锯齿或抖动。由于扫描电子显微镜观测倍率高,微小的震动也会影响使用

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众多企业的共同选择,也将成为明智的选择